[发明专利]薄膜太阳能电池的光漫射层

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的光漫射层。用辉光放电方法形成的极透明且具有极高漫射性的氮化硫薄膜可被置于薄膜太阳能电池的受光面，也可被置于薄膜太阳能电池透明背电极和背反射层之间，从而显著增大光子进入光电转换层的角度，增强光陷阱效应，从而提高光电转换效率。

主权项

1. 一个p-i-n型光伏器件，它的结构沿光的入射方向依次包括：一个透明防护镀膜；一个光漫射层；一个玻璃基板；一个透明前电极；一个或多个由基于氢化硅的薄膜构成的p-i-n型光伏单元；一个具有光反射性能的背电极，它可以包括一个透明导电氧化物和一个或多个金属薄膜。其特征在于：所述光漫射层是一个氮化硫薄膜，其形成方式为PECVD，且其厚度不超过10微米，其光漫射效率不低于30％。