[发明专利]XYθ移动载台

摘要

本发明提供一种XYθ移动载台，即使对平板施加偏负载也不会产生摆动。一种XYθ移动载台，具有保持工件(9)的板(6)，板(6)可在板面上正交的XY方向及相对于上述板面正交的轴周围的θ转动方向移动，其特征为，具备：载台基座(1)；推力产生单元(2)，固定在载台基座(1)上并具有产生移动磁场的磁极；固定在载台基座(1)上的3个基准支持部件(3)；固定在载台基座(1)上的1个以上的辅助支持部件(4)，板(6)由3个基准支持部件(3)及1个以上的辅助支持部件(4)支持，并且在与保持工件(9)的面的相反侧的面上，设有形成了围棋盘格子状的凸极的平面形的台板(8)，并通过推力产生单元(2)驱动。

主权项

1、一种XYθ移动载台，具有保持工件的板，该板可在板面上正交的XY方向、及相对于上述板面正交的轴周围的θ转动方向移动，其特征为，具备：载台基座；推力产生单元，固定在上述载台基座上，并具有产生移动磁场的磁极；固定在上述载台基座上的3个基准支持部件；固定在上述载台基座上的1个以上的辅助支持部件，上述板由上述3个基准支持部件及上述1个以上的辅助支持部件支持，并且在与保持上述工件的面相反侧的面上，设有形成了围棋盘格状的凸极的平面台板，并由上述推力产生单元驱动。