[发明专利]一种导能导流和精密定位的聚合物微结构超声波键合结构

摘要

一种导能导流和精密定位的聚合物微结构超声波键合结构，属于聚合物微机电系统加工技术领域，用于聚合物微流控芯片的键合。其特征在于该结构包括微导能梁、微导流槽和微定位舌，利用模具热压、注塑或精密机械加工聚合物基片获得微流控芯片的微通道、微导能梁、微导流槽和微定位舌；在塑料超声波焊机上采用超声波键合的方式将微通道封接，获得微流控芯片。本发明的效果和益处是采用超声波键合的方法提高了键合效率，导能导流和精密定位微结构有利于形成稳定的键合强度，解决了精密定位困难，提高芯片制作成品率。

主权项

1.一种导能导流和精密定位的聚合物微结构超声波键合结构，其特征在于导能导流和精密定位微接头由微导能梁、微导流槽与微定位舌组成；微导能梁距离被封接的微通道0.005～1mm，其截面形状为矩形、梯形或三角形；微导能梁与被封接的微通道处于同一聚合物基片上或处于另一聚合物基片上；微导流槽距离微导能梁0.01～1mm，与被封接的微通道异侧，其截面形状为矩形、梯形、三角形或半圆形；微导流槽与被封接的微通道处于同一聚合物基片上或处于另一聚合物基片上；微定位舌截面形状与被封接的微通道相似，与被封接的微通道处于不同聚合物基片上，位置相对应，深度不同。