[发明专利]浮法冶金熔融析出杂质提纯生产太阳能多晶带硅无效
申请号: | 200710014959.0 | 申请日: | 2007-06-20 |
公开(公告)号: | CN101328605A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 张金学;曹军;高新忠 | 申请(专利权)人: | 济南荣达电子有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/04;C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250101山东省济南市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种浮法冶金融熔生长太阳能多晶带硅及杂质提纯方法,涉及光电产业及半导体产业的多晶硅制作。以高纯石墨坩埚为液槽,以Bi-Si融体为基本母液成分,采用真空电阻炉设备作为整个体系的升温装置,通过改变条件,调控调控微观硅晶体从母液中析出带硅,然后在惰性气体保护下采用激光退火、灯光退火、电子束退火、区熔退火等再结晶实验手段进行处理,改善晶体结构,促使晶粒长大。 | ||
搜索关键词: | 冶金 熔融 析出 杂质 提纯 生产 太阳能 多晶 | ||
【主权项】:
1.一种浮法冶金融熔析出杂质提纯生产太阳能多晶带硅的方法,其特征在于该工艺包括:浮法冷凝带硅生长、浮法熔融杂质提纯、多晶带硅再结晶等三个方面。
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