[发明专利]真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置有效
| 申请号： | 200710017914.9 | 申请日： | 2007-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101050521A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 苏君明;薛宁娟;李永军;孟凡才;李睿;邢如鹏;彭志刚;肖志超;邓红兵;吴大云 | 申请（专利权）人： | 西安超码科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/52 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 71002*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置，它由泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座组成，泡沫炭保温底座设置在真空感应气相沉积炉的底座上，泡沫炭保温桶套在石墨发热体的外面，并与石墨发热体一起置于泡沫炭保温底座的上面，泡沫炭保温盖设置在泡沫炭保温桶的上面，泡沫炭保温盖上开有通气孔。本发明具有保温效果好，使用寿命长，操作简便等特点，可以有效提高真空感应炉的保温效果，降低热量损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 感应 沉积 泡沫 保温 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置，其特征在于它由泡沫炭保温盖(1)、泡沫炭保温桶(3)和泡沫炭保温底座(4)组成，泡沫炭保温底座(4)设置在真空感应气相沉积炉的底座(5)上，泡沫炭保温桶(3)套在石墨发热体(2)的外面，并与石墨发热体(2)一起置于泡沫炭保温底座(4)的上面，泡沫炭保温盖(1)设置在泡沫炭保温桶(3)的上面，泡沫炭保温盖(1)上开有通气孔(6)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
