[发明专利]一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法和系统无效
申请号: | 200710018579.4 | 申请日: | 2007-09-04 |
公开(公告)号: | CN101126834A | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 王昭;王春勇;赵宏 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李郑建 |
地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于点扫描激光共焦显微镜的扫描方法和系统,该方法首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统,实现自动控制扫描;然后在样品台上对被测样品定位;三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动,直至被测样品扫描完一层,接着复位进行轴向扫描被测样品下一层,直至被测样品测量完毕。该方法在于不改变光路的情况下,通过样品台的旋转移动完成扫描,克服了以往扫描台存在的机构复杂,扫描速度慢的缺点。主要应用于点扫描的激光共焦显微镜中,但也可用于类似的光点扫描测量系统中。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 扫描 激光 显微镜 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法,其特征在于,该方法包括下列步骤:步骤一,首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统,实现自动控制扫描;步骤二,然后在样品台上对被测样品定位;步骤三,三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动,直至被测样品扫描完一层,接着复位进行轴向扫描被测样品下一层;步骤四,重复步骤三的过程,直至被测样品测量完毕。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学,未经西安交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200710018579.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。