[发明专利]垂直布里奇曼生长炉及炉内温度场优化方法有效
申请号: | 200710018783.6 | 申请日: | 2007-09-30 |
公开(公告)号: | CN101220502A | 公开(公告)日: | 2008-07-16 |
发明(设计)人: | 介万奇;徐亚东;王涛;刘伟华;杨戈;张继军 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 | 代理人: | 黄毅新 |
地址: | 710072陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种垂直布里奇曼生长炉,炉外壳中从下到上依次是隔热板、两组I型加热模块、散热片、一组II型加热模块、两组I型加热模块和炉膛盖,隔热板中心孔是耐火陶瓷棉,五段加热模块中心位置是两段衬管,两段衬管用散热片隔开,衬管对接处外有衬套,每组加热模块的中心孔周围分布有各自独立温度控制系统的电热丝,在垂直于每组模块的外壁中部径向放置一根的Pt/PtRh10热电偶,热电偶的测温触点靠近衬管5的外壁。本发明还公开了这种垂直布里奇曼生长炉炉内温度场优化方法,由于本发明垂直布里奇曼生长炉采用五段式模块化设计,可以通过更换不同模块获得生长不同晶体的合适温度场,有效地解决了因轴向温度梯度小产生的组分过冷现象。 | ||
搜索关键词: | 垂直 布里奇曼 生长 温度场 优化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种垂直布里奇曼生长炉,包括炉膛盖、电热丝、衬管、散热片、外壳,其特征在于:还包括I型加热模块、II型加热模块、隔热板、衬套和耐火陶瓷棉,外壳中从下到上依次是隔热板、两组I型加热模块、散热片、一组II型加热模块、两组I型加热模块和炉膛盖,隔热板中心孔是耐火陶瓷棉,五段加热模块中心位置是两段衬管,下段衬管的下端与隔热板平齐,上段衬管的上端与炉膛盖平齐,两段衬管用散热片隔开,衬管对接处外有衬套,散热片的中心孔与衬管内径等大,每组加热模块的中心孔周围分布有各自独立温度控制系统的电热丝,在垂直于每组模块的外壁中部径向放置一根的Pt/PtRh10热电偶,热电偶的测温触点靠近衬管5的外壁,形成炉膛梯度温控区I、II、III、IV、V。
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