[发明专利]铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置

摘要

本发明针对采用Al膜电极结构的等离子体显示板，在制程中产出的Al膜电极的连线缺陷、断线缺陷提出一种快速、可靠的检测方法及其装置，即结合掩模板正负片，利用缺陷出光强透过率的比对，通过控制系统对缺陷信息加以确认、定位、保存及与激光修补机间的传输。本发明针对Al膜电极断线缺陷修补后经过高温处理再次断开的问题，提出修补点经过预烧后与后续制备的介质层共同烧结的方法，有效的修补Al膜电极的断线缺陷。

主权项

1、一种Al电极缺陷的检测方法，包括Al膜电极连线缺陷和断线缺陷检测方法，其特征是：所述的Al膜电极连线缺陷的检测方法为：首先制作一个与基板上的Al膜电极图案能重合的Al膜电极掩模版正片并将它们对准后置于有背光的检测台上，通过照射光源在检测台上方的移动，检测照射光的反射强度以判定是否有连线存在，即如果被照射位置的光线的反射强度低于预先测定的无连线位置处的反射强度，即可判定所照射区域存在连线缺陷，并将此结果送至相应的控制系统中加以记录，为后续的修被提供依据；所述的Al膜电极断线缺陷的检测方法为：首先制作一个与基板上的Al膜电极图案与间隙的透光性质正好相反的Al膜电极掩模版负片，并将它们对准后置于有背光的检测台上，通过照射光源在检测台上方的移动，检测照射光的反射强度，以判定是否有断线存在，即如果被照射位置的光线的反射强度高于预先测定的无断线位置处的反射强度，即可判定所照射区域存在断线缺陷，再通过CCD摄像头对此缺陷作进一步的断线类型判定，并将此结果送至相应的控制系统中加以记录，为后续的修被提供依据。