[发明专利]十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 200710022268.5 | 申请日： | 2007-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101059528A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 秦明;沈广平;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 十字架结构的二维风速风向传感器涉及一种基于微机械(MEMS)剥离工艺的二维热膜风速风向传感器，尤其是采用玻璃，陶瓷等非硅材料作为衬底制备的热膜风速传感器。该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻(1)为十字架结构。第一测温电阻(2)，第二测温电阻(3)，第三测温电阻(4)，第四测温电阻(5)，分别对称分布在十字架结构加热电阻之间。通过测量四个测温电阻两两之间的温度差，就可以反映风速风向信息。该传感器具有工艺简单可靠，灵敏度高，低功耗，响应时间快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 十字架 结构 二维 风速 风向 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻(1)为十字架结构。第一测温电阻(2)，第二测温电阻(3)，第三测温电阻(4)，第四测温电阻(5)，分别对称分布在十字架结构加热电阻之间。对称分布在玻璃衬底周围的16个压焊块(6)，对加热电阻和四个测温电阻进行分别引出。
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