[发明专利]防滴漏型光阻瓶

摘要

本发明涉及一种可防滴漏型光阻瓶，用于集成电路制造工艺，为蚀刻过程提供流量可控的腐蚀性光阻液剂。其结构包括瓶体、瓶盖、进气管和出液管，瓶体与瓶盖之间为螺纹连接，进气管和出液管经由瓶盖与瓶体内部通连，其特点是瓶盖与瓶体之间设有一段可伸缩软管，同时出液管分为吸液段和出液段，它们分别与可伸缩软管的上下两端连接，连接之后三者内部空间相互通连，构成中途密闭的吸液和出液通路。本发明可有效防止操作过程中光阻滴到瓶外，解决了工作环境易被污染难以清洁的难题。

主权项

1.防滴漏型光阻瓶，用于集成电路制造工艺，为蚀刻过程提供流量可控的腐蚀性光阻液剂，其结构包括瓶体、瓶盖、进气管和出液管，瓶体与瓶盖之间为螺纹连接，进气管和出液管经由瓶盖与瓶体内部通连，其特征在于：所述瓶盖与瓶体之间设有一段可伸缩软管，该可伸缩软管的上下两端分别抵在瓶盖内表面以及瓶体的瓶口上面，当瓶盖安装于瓶体上面时，瓶口和瓶盖从两侧挤压可伸缩软管，使软管收缩；同时，所述出液管分为上下两段，下段为吸液段、上段为出液段，吸液段的下端插入瓶体底部，工作时浸入光阻液剂的内部，出液段的上端处于瓶体之外，并与光阻液剂的输出管线连接，而出液段的下端以及吸液段的上端，则分别与所述可伸缩软管的上下两端连接，连接之后三者内部空间相互通连，构成中途密闭的吸液和出液通路。