[发明专利]一种蒸镀工艺用清洁板及采用该清洁板的蒸镀工艺方法无效
| 申请号： | 200710023738.X | 申请日： | 2007-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN101338410A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;徐粤;高裕弟 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀工艺用清洁板及采用该清洁板的蒸镀工艺方法，清洁板单面具有粘性；蒸镀工艺方法包括：提供一被蒸镀体，及一蒸镀用掩膜，还包括一单面具有粘性的清洁板，透过掩膜上的开孔以步进方式热蒸镀第一材料膜于被蒸镀体上的第一位置；利用清洁板与掩膜对应被蒸镀体的表面接触，清洁该掩膜；以及透过该经清洁过的掩膜上的开孔以步进方式热蒸镀第二材料膜于该被蒸镀体上的第二位置。本发明在不改变蒸镀设备的前提下，有效并从根本上去除蒸镀用掩膜上残存的杂质，从而降低蒸镀产品次品率；另外，掩膜经过多次清洗，其使用寿命会降低，精确度也会随之降低，本发明在保证掩膜清洁度的基础上，尽量减少清洗次数，以提高其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 清洁 采用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀工艺用清洁板，其特征在于，单面具有粘性。
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