[发明专利]基于非晶固体电解质薄膜(AgI)x(AgPO3)1-x及其制备方法无效
申请号: | 200710025371.5 | 申请日: | 2007-07-26 |
公开(公告)号: | CN101222019A | 公开(公告)日: | 2008-07-16 |
发明(设计)人: | 殷江;国洪轩;尹奎波;陈亮;刘治国 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C23C14/28;G11C11/56 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所 | 代理人: | 阙如生 |
地址: | 210093*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型记忆材料,非晶固体电解质薄膜(AgI)x(AgPO3)1-x,使用其制备非挥发性记忆器件,可用于信息存储和其它种类的集成电路中。非晶固体电解质薄膜(AgI)x(AgPO3)1-x有如下特点:其本身是一种固体电解质薄膜材料,具有离子导电性,在一定条件下可以可逆地转变为电子导电性,在室温下,其结构为非晶态,可使用其制备小尺寸、高密度、性能稳定的非挥发性记忆器件。本发明提供了一种非晶固体电解质薄膜(AgI)x(AgPO3)1-x的制备方法,该方法包括:使用合适配比的AgI、AgNO3、(NH4)2HPO4熔化后制成玻璃靶材,然后使用激光脉冲沉积方法制备非晶固体电解质薄膜。 | ||
搜索关键词: | 基于 固体 电解质 薄膜 agi sub agpo 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于非晶固体电解质薄膜银碘磷氧,其特征在于组成该薄膜的化学式为(AgI)x(AgPO3)1-x,其中,该薄膜在室温下为非晶态,0≤x≤0.7。
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