[发明专利]二氧化硅蒸镀材料的制备方法有效
| 申请号： | 200710025480.7 | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101200793A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 许士荣 | 申请（专利权）人： | 昆山光铭光电子元件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种二氧化硅蒸镀材料的制备方法，先将一组的二氧化硅棒用切割机预切成长度相同的短棒，并清洗烘干，然后在物料板上涂上厌氧胶粘接剂，将一组二氧化硅棒紧密并排粘接于该物料板后烘干，然后将一组切割剧片与一组隔板，通过切割剧片与隔板两两间隔设置，紧密并排固定于磨床主轴，再将粘接有该二氧化硅棒的物料板对应固定于该磨床操作台，卡紧并切割，形成二氧化硅颗粒，最后将二氧化硅颗粒从物料板上铲下，通过沸水清洗并烘干，形成二氧化硅蒸镀材料，相邻两切割剧片间的间距设为二氧化硅棒直径，这样运用本方法可以制备结构均匀一致的二氧化硅蒸镀材料，从而蒸发时蒸汽的发射角几乎不变，蒸发速率也均匀，成膜密度也一致，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化硅蒸镀材料的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：1)在物料板上涂上粘接剂，将一组相同的二氧化硅棒紧密并排粘接于该物料板后烘干；2)将一组相同的切割剧片与一组相同的隔板，通过该切割剧片与隔板两两间隔设置，紧密并排固定于磨床主轴；3)将粘接有该二氧化硅棒的物料板对应固定于该磨床操作台，卡紧并切割，形成二氧化硅颗粒；4)将该二氧化硅颗粒从该物料板上铲下，通过沸水清洗并烘干，形成二氧化硅蒸镀材料。
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