[发明专利]一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺无效
申请号: | 200710034271.9 | 申请日: | 2007-01-16 |
公开(公告)号: | CN101226969A | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 向小龙 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,利用红外短波加热光源定向辐射加热,实现金属化熔结,首先将待烧结物通过网带快速送入隧道式烧结炉道中的加热炉道,加热炉道外部为隔热纤维,网带上下排列有红外短波加热灯管,加热炉道被隔离组件隔离为不同温区,并且通过送气管及各个温区内置的喷淋嘴向各个温区送入工艺气体,待烧结物经过加热炉道的最高温区之后,通过快速运动的网带运载,进入内部分布有盘管的水冷隧道以实现快速降温,其中盘管内通有冷却水。本发明提供得所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,能够掌握温度,很好的实现了瞬间高温状态,降低了单位电池的制造成本,促进了光伏技术的发展。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 太阳能电池 快速 尖峰 烧结 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,利用红外短波加热光源定向辐射加热,实现金属化熔结,其特征在于,将待烧结物(12)通过网带(5)快速送入隧道式烧结炉道(1)中的加热炉道(2),加热炉道(2)外部为隔热纤维(4),网带(5)上下排列有红外短波加热灯管(6),加热炉道(2)被隔离组件(7)隔离为不同温区,并且通过送气管(9)及各个温区内置的喷淋嘴(16)向各个温区送入工艺气体,待烧结物(12)经过加热炉道(2)的最高温区之后,通过快速运动的网带(5)运载,进入内部分布有盘管(13)的水冷隧道(3)以实现快速降温,所述盘管(13)内通有冷却水。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的