[发明专利]可调F－P干涉仪极间距的在线监控系统无效
| 申请号： | 200710036765.0 | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101029816A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 师树恒;王斌;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B7/14 | 分类号： | G01B7/14 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于高功率激光系统的可调F－P干涉仪极间距的在线监控系统。该监控系统包括：一电容传感器，该电容传感器第一极板安装在所述固定平台上，电容传感器第二极板可靠接地，且安装在由压电陶瓷驱动器驱动的所述微位移平台上，所述电容传感器第一极板经传感器测量电路、A/D转换器与主控制器的输入端相连，该主控制器的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器相连。本发明使F－P干涉仪的间距稳定度保持在15nm/h以内，幅度调制效应的调制深度始终优于4％，能够很好地满足幅度调制效应补偿装置的技术要求。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 干涉仪 间距 在线 监控 系统 | ||
【主权项】：
1、一种可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统，该可调F-P干涉仪(10)的一玻璃平板安装在固定平台(9)上，另一块玻璃平板安装在相对该固定平台(9)微位移的微位移平台(8)上，其特征在于该在线监控系统包括：一电容传感器，该电容传感器第一极板(1)安装在所述固定平台(9)上，与所述可调F-P干涉仪(10)的一玻璃平板的位置相对应，该电容传感器第二极板(2)可靠接地，且安装在由压电陶瓷驱动器(7)驱动的所述微位移平台(8)上，与所述可调F-P干涉仪(10)的另一玻璃平板的位置相对应；所述电容传感器的第一极板(1)经传感器测量电路(3)、A/D转换器(4)与主控制器(5)的输入端相连，该主控制器(5)的输出端经D/A转换器(6)与所述的压电陶瓷驱动器(7)相连。
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