[发明专利]物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法

摘要

一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法，本发明采用滤波法解相位的干涉测量方法，本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路，对光源的实行正弦调制驱动。本发明能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。

主权项

1、一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置，包括一光源(1)，沿该光源(1)输出光束的前进方向依次是准直扩束镜(2)、分束器(3)和被测量物体(5)，在所述的分束器(3)的反射光束方向有一参考镜(4)，在所述的参考镜(4)的反射光束穿过所述的分束器(3)的透射光束方向是一光电探测元件(6)，其特征在于还有：由第一放大器(7)、第二放大器(8)和计算电路(9)构成的相位探测电路(17)，该第一放大器(7)和第二放大器(8)的输出端同时接计算电路(9)的输入端；由实时解相电路(10)、相位修正电路(11)和表面形貌值计算电路(12)依次连接构成的实时相位数据处理电路(18)；由直流电源(14)输出的电压和交流信号源(16)输出的正弦调制信号经半导体电流调制器(15)对所述光源(1)进行驱动和调制；所述的光电探测元件(6)的输出端接所述的第一放大器(7)的输入端，所述的交流信号源(16)的输出端同时接所述的第二放大器(8)的输入端，所述的计算电路(9)的输出端接所述的实时解相电路(10)的输入端，所述的表面形貌值计算电路(12)的输出端接一计算机(13)。