[发明专利]光刻胶气泡排除系统及排除方法有效
| 申请号： | 200710037437.2 | 申请日： | 2007-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101246311A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 胡习虎 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻胶气泡排除系统，包括：气泡收集桶，所述气泡收集桶上设置有第一排气管路；电机驱动泵，通过光刻胶运送管路将其输入端与气泡收集桶的光刻胶输出端连接，可将气泡收集桶中的光刻胶回吸至电机驱动泵内；第一电磁阀，位于第二排气管路上，关闭时，使光刻胶留在第二排气管路内；光刻胶回收管路，将第二排气管路与气泡收集桶连接，使电机驱动泵内的光刻胶输出至气泡收集桶，且与第二排气管路的接口位于第一电磁阀和电机驱动泵之间；第二电磁阀，位于光刻胶回收管路上，开启时，使光刻胶从电机驱动泵经由光刻胶回收管路输入至气泡收集桶。上述系统，光刻胶得到反复利用，提高了光刻胶的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 气泡 排除 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种光刻胶气泡排除系统，包括：气泡收集桶，所述气泡收集桶上设置有第一排气管路；电机驱动泵，通过光刻胶运送管路将其输入端与气泡收集桶的光刻胶输出端连通，所述电机驱动泵上有第二排气管路；其特征在于，还包括：第一电磁阀，位于第二排气管路上，关闭时，使光刻胶留在第二排气管路内；光刻胶回收管路，将第二排气管路与气泡收集桶连接，使电机驱动泵内的光刻胶输出至气泡收集桶，且与第二排气管路的接口位于第一电磁阀和电机驱动泵之间；第二电磁阀，位于光刻胶回收管路上，开启时，使光刻胶从电机驱动泵经由光刻胶回收管路输入至气泡收集桶。
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