[发明专利]控制ZnO纳米柱阵列密度的方法无效
申请号: | 200710037624.0 | 申请日: | 2007-02-16 |
公开(公告)号: | CN101244895A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 李效民;邱继军;于伟东;高相东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C03C17/25 | 分类号: | C03C17/25;B82B3/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种控制ZnO纳米柱阵列密度的方法,特征是控制复合溶胶体系中锌离子与Mx+离子的浓度比([Zn2+]/[Mx+]),调节复合薄膜中ZnO与MOx的颗粒大小和分布状态,并且利用水溶液法制备ZnO纳米柱阵列时,生长初始阶段ZnO纳米柱晶核对籽晶层中ZnO晶粒的选择性生长来实现对其密度的调节。在所述的方法中,将少量的MOx溶胶与ZnO溶胶混合,搅拌均匀后形成稳定的复合溶胶。然后采用浸渍提拉法将其沉积到基片上,热处理后形成ZnO-MOx复合籽晶层。将ZnO-MOx的复合籽晶层浸入由Zn(NO3)2,NaOH和H2O组成的生长液中,50-90℃下生长0.5-5h后,在籽晶层上形成具有一定密度的ZnO阵列。控制MOx溶胶的加入量,调节ZnO阵列的密度。 | ||
搜索关键词: | 控制 zno 纳米 阵列 密度 方法 | ||
【主权项】:
1. 控制ZnO纳米柱阵列密度的方法,其特征在于通过控制ZnO-MOx 复合溶胶体系中锌离子与Mx+离子的浓度比[Zn2+]/[Mx+],调节ZnO-MOx复合薄膜中ZnO与MOx的颗粒大小和分布状态,并且利用水溶液法制备ZnO纳米柱阵列时,生长初始阶段ZnO纳米柱晶核对籽晶层中ZnO晶粒的选择性生长来实现对其密度的调节,具体步骤是:①将少量的MOx溶胶与ZnO溶胶混合,搅拌均匀后形成稳定的复合溶胶;②然后采用浸渍提拉法将其沉积到基片上,热处理后形成ZnO-MOx复合籽晶层;③将ZnO-MOx的复合籽晶层浸入由Zn(NO3)2,NaOH和H2O组成的生长液中,50-90℃下生长后,在籽晶层上形成具有一定密度的ZnO阵列,通过控制MOx溶胶的加入量,调节ZnO阵列的密度;所述Mx+离子为二价、三价、或四价的阳离子。
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