[发明专利]废水处理系统和方法有效
| 申请号： | 200710037681.9 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101244847A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 林信才;彭云新;刘江;冯均 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;B01D36/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李文红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体封装工艺中碾磨划片的废水处理系统，包括：收集半导体封装工艺中碾磨和/或划片的废水的收集槽；将所述废水中的悬浮物通过物理过滤分离出来的物理过滤装置，该物理过滤装置与所述收集槽流体性连接；接收所述物理过滤装置处理后废水的接收装置，该接收装置与所述物理过滤装置流体性连接。本发明还提供一种半导体封装工艺中碾磨划片的废水处理方法。本发明使得半导体封装工艺中碾磨划片的废水处理工艺简单化，成本降低。 | ||
| 搜索关键词： | 废水处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种半导体封装工艺中碾磨划片的废水处理系统，其特征在于包括：收集半导体封装工艺中碾磨和/或划片的废水的收集槽；将所述废水中的悬浮物通过物理过滤分离出来的物理过滤装置，该物理过滤装置与所述收集槽流体性连接；接收所述物理过滤装置处理后废水的接收装置，该接收装置与所述物理过滤装置流体性连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710037681.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气体净化装置
- 下一篇：一种具有针孔组成的图案的薄片的制作工艺及制作工具
