[发明专利]多通道线圈过滤器离子复合镀膜装置和方法无效
| 申请号： | 200710037887.1 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101016617A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 沈耀;戴华;蔡珣;胡亚威;陈秋龙 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;张宗明 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多通道线圈过滤器离子复合镀膜装置，属于镀膜和材料表面改性领域。本发明装置包括：多通道自由开放式线圈过滤器，过滤器定形以及绝缘装置、过滤器定位装置和工件罩，所述的多通道自由开放式线圈过滤器具有两个或多个引导通道以及一个混合通道，两个或多个引导通道呈对称分布，它们的入口正对两个或多个阴极电弧靶、出口正对混合通道的入口，混合通道的出口正对工件，工件位于工件罩内，过滤器定形以及绝缘装置卡在上述过滤器中线圈的相邻匝之间，过滤器定位装置将该过滤器固定在真空炉内。本发明还提供了应用上述装置进行离子复合镀膜的方法。本发明实施简单、所得膜层表面光洁、成分和结构可控，可应用于光学及高精度镀膜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 线圈 过滤器 离子 复合 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多通道线圈过滤器离子复合镀膜装置，其特征在于，包括：多通道自由开放式线圈过滤器，过滤器定形以及绝缘装置、过滤器定位装置、工件罩，所述的多通道自由开放式线圈过滤器具有两个或多个引导通道以及一个混合通道，两个或多个引导通道呈对称分布，它们的入口正对两个或多个阴极电弧靶、出口都正对混合通道的入口，混合通道的出口正对工件方向，工件罩放置在工件外，过滤器定形以及绝缘装置卡在多通道自由开放式线圈过滤器中线圈的相邻匝之间，过滤器定位装置将多通道自由开放式线圈过滤器固定在真空炉内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710037887.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种节能外墙漆及其生产方法
- 下一篇：一种桨叶式混合机
- 同类专利
- 专利分类
