[发明专利]一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统和方法无效
| 申请号： | 200710038220.3 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101269296A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李雨庭 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/75 | 分类号： | B01D53/75 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统和方法，涉及半导体制程中的废气处理。现有的工艺废气处理方法存在成本高、处理效率低、无法彻底清除含氟/氯气体，需经常更换吸附器等问题。本发明的用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统，包括用于处理工艺产生的粉尘、结晶物及一般废气的湿式洗涤机和用于处理含氟或氯的特殊废气成分的干式洗涤机，该湿式和干式洗涤机之间还包括气液分离装置，多种有害气体混合产生的废气依次经过湿式洗涤机和气液分离装置后分离成液体和气体，再使含氟或氯的特殊气体经过干式洗涤机处理并排出。采用本发明能清除废气中的有毒有害成分，提高废气处理效率，减少吸附器的更换次数，降低处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 多种 有害 气体 混合 产生 废气 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统，包括用于处理工艺产生的粉尘、结晶物及一般废气的湿式洗涤机和用于处理含氟或含氯的特殊废气成分的干式洗涤机，其特征在于：所述的湿式洗涤机和干式洗涤机之间还包括气液分离装置，多种有害气体混合产生的废气依次经过湿式洗涤机和气液分离装置后分离成液体和气体，再使该分离出的气体经过干式洗涤机处理并排出。
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