[发明专利]确定最佳高频偏压值的方法有效

专利信息
申请号: 200710039183.8 申请日: 2007-04-06
公开(公告)号: CN101280424A 公开(公告)日: 2008-10-08
发明(设计)人: 肖春光;郑金福;张玉;李彬 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/513
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 王洁
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种确定最佳高频偏压值的方法,其中,该方法包括如下步骤:a.选择若干待测试的晶圆;b.测试每一个晶圆在不同高频偏压值下反应腔内的微尘颗粒的数量;c.测试每一个晶圆在不同高频偏压值下的反应腔体的温度;d.在不影响反应腔内温度稳定性的前提下,选择反应腔内的微尘颗粒数量最少的高频偏压值作为最佳高频偏压值。与现有技术相比,本发明揭露了高频偏压值与微尘颗粒以及高频偏压值与反应腔温度之间的关系,并在不影响反应腔内温度稳定性的前提下,获取最佳的偏压值,在该偏压值作用下,可以有效避免电弧的产生,有效减少阴极的损伤,从而将反应腔内的微尘颗粒数量控制在最小的范围内。
搜索关键词: 确定 最佳 高频 偏压 方法
【主权项】:
1. 一种确定最佳高频偏压值的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:a.选择若干待测试的晶圆;b.测试每一个晶圆在不同高频偏压值下反应腔内的微尘颗粒的数量;c.测试每一个晶圆在不同高频偏压值下的反应腔体的温度;d.在不影响反应腔内温度稳定性的前提下,选择反应腔内的微尘颗粒数量最少的高频偏压值作为最佳高频偏压值。
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