[发明专利]射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室有效
| 申请号： | 200710039453.5 | 申请日： | 2007-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101287327A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈金元;尹志尧;钱学煜;倪图强;饭塚浩 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种应用于等离子体反应腔室上的射频功率源，采用频率合成或射频信号振荡器方式产生N个射频信号，并通过宽带功率放大器将该N个射频信号功率加以放大，随后分离该经过放大的信号。于是射频系统的输出是具有多种频率的射频功率。可选地，这些频率是可以切换的，这样使用者就可以选择射频功率源系统所输出的频率。本发明进一步公开了一种使用该射频功率源的等离子体反应腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 功率 系统 使用 等离子体 反应 | ||
【主权项】：
1. 一种射频功率源系统，包括：输出具有N个频率的N个射频信号的射频源，其中N是大于1的整数；合成该N个射频信号的射频功率合成器，以输出一个合成的射频信号；放大该合成的射频信号的宽带放大器，以提供一个经过放大的射频信号；接收该经过放大的射频信号的射频功率分离器，以提供具有N个频率的N个经过放大的射频功率信号。
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