[发明专利]晶片级芯片尺寸封装方法有效
| 申请号： | 200710039567.X | 申请日： | 2007-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101290891A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王津洲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶片级芯片尺寸封装方法，包括下列步骤：提供具有至少一个芯片的晶片，其中芯片上配置有焊盘，焊盘上包含第一焊料凸块；在基板上形成衬底层；在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层；对齐第一焊料凸块和第二焊料层，并回流第二焊料层，形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块；移除基板，留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块；将晶片切割为至少一个芯片，完成晶片级芯片尺寸封装。经上述步骤，提高了封装的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 芯片 尺寸 封装 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶片级芯片尺寸封装方法，其特征在于，包括下列步骤：提供具有至少一个芯片的晶片，其中芯片上配置有焊盘，焊盘上包含第一焊料凸块；在基板上形成衬底层；在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层；对齐第一焊料凸块和第二焊料层，并回流第二焊料层，形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块；移除基板，留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块；将晶片切割为至少一个芯片，完成晶片级芯片尺寸封装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
