[发明专利]用于电容结构的测试装置及其保护装置有效
| 申请号： | 200710040009.5 | 申请日： | 2007-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101295006A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;章鸣;陈强;郭志蓉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/12;H02H3/08;H01H85/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于电容结构的测试装置的保护装置，其中用于电容结构的测试装置包括至少两个第一焊盘，包括：第二焊盘；以及限流装置，限流装置串接于至少两个第一焊盘中的一个和所述第二焊盘之间，其中当通过限流装置的电流大于一电流阈值时自动断开，并且其中电流阈值至少部分根据用于电容结构的测试装置的漏电流标准规格电流而确定。本发明还提供一种包括以上保护装置的电容结构测试装置。通过本发明的技术方案，当测试失效时，所测得的漏电流已经超过标准规格电流后，电流仍会迅速增大。当其增大到限流装置的预定阈值时，该限流装置自动断开，从而待测电容结构的原始失效现场得以保护，便于在失效分析时通过连接极板的焊盘找到测试失效的根本原因。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电容 结构 测试 装置 及其 保护装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于电容结构的测试装置的保护装置，其中所述用于电容结构的测试装置包括至少两个第一焊盘，包括：第二焊盘；以及限流装置，所述限流装置串接于所述至少两个第一焊盘中的一个和所述第二焊盘之间，其中当通过所述限流装置的电流大于一电流阈值时，所述限流装置自动断开，并且其中所述电流阈值至少部分根据所述用于电容结构的测试装置的漏电流标准规格电流而确定。
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