[发明专利]清洗晶圆的装置及方法

摘要

本发明公开了一种清洗晶圆的装置及方法。本发明清洗晶圆的装置包括：清洗室，用于容置待清洗的晶圆；闸门，用于将清洗室内的清洗液泻放到储液池内；储液池，用于容置从清洗室内泻放的清洗液；第一传输管道，连通清洗室和三通阀门；第二传输管道，连通储液池和三通阀门；第三传输管道，连通三通阀门和回流泵；第四传输管道，连通回流泵和过滤器；第五传输管道，连通过滤器和清洗室；三通阀门，用于控制循环清洗管路和回收管路的开启或关闭；回流泵，用于抽取清洗室或储液池内清洗液传输到过滤器中；过滤器，用于过滤回流泵传输的清洗液。本发明清洗晶圆的装置能有效去除晶圆表面的微细颗粒，并能循环利用清洗液。

主权项

1.一种清洗晶圆的装置，其特征在于，包括：清洗室，用于容置待清洗的晶圆；闸门，位于清洗室底部，用于将清洗室内的清洗液泻放到储液池内；储液池，连通清洗室底部，用于容置从清洗室内泻放的清洗液；第一传输管道，连通清洗室和三通阀门；第二传输管道，连通储液池和三通阀门；第三传输管道，连通三通阀门和回流泵；第四传输管道，连通回流泵和过滤器；第五传输管道，连通过滤器和清洗室；三通阀门，分别连通第一传输管道、第二传输管道和第三传输管道，用于控制循环清洗管路和回收管路的开启或关闭；回流泵，依次连接第四传输管道、过滤器、第五传输管道、清洗室、第一传输管道、三通阀门和第三传输管道构成循环清洗管路，用于抽取清洗室内清洗液传输到过滤器中；依次连接第四传输管道、过滤器、第五传输管道、清洗室、储液池、第二传输管道、三通阀门和第三传输管道构成回收管路，用于抽取储液池内清洗液传输到过滤器中；过滤器，通过第五传输管道连通清洗室，用于过滤回流泵传输的清洗液，并传输回清洗室。