[发明专利]一种无碲存储材料、制备方法及应用有效
申请号: | 200710040302.1 | 申请日: | 2007-04-29 |
公开(公告)号: | CN101049934A | 公开(公告)日: | 2007-10-10 |
发明(设计)人: | 张挺;宋志棠;刘波;刘卫丽;封松林;陈邦明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B33/06 | 分类号: | C01B33/06;C23C14/35;C23C14/06;G11B7/24 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及了一种无碲存储材料、制备方法及应用。其特征在于所述的存储材料为硅-锑混合物,组成通式为SixSb100-x,0<x<90,优先推荐组成为5≤x≤70。所述的材料在外部能量作用下为电驱动、激光脉冲驱动或电子束驱动。通过调整这种材料中两种元素的组份,可以得到具有不同结晶温度、熔点和结晶激活能的存储材料。所提供的材料体系具备如下优点:较好的可调性、较强的数据保持能力、较简单的成份和制备工艺、对半导体设备没有污染、较好的可加工性、环境友好性等,具有广阔的应用前景。硅-锑合金材料是用于存储器的理想存储介质。 | ||
搜索关键词: | 一种 存储 材料 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1、一种无碲存储材料,其特征在于所述的存储材料为硅-锑的混合物,组成通式为SixSb100-x,0<x<90。
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