[发明专利]激光自动准直系统无效
申请号: | 200710041062.7 | 申请日: | 2007-05-23 |
公开(公告)号: | CN101059334A | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | 于海波;梁晓燕;冷雨欣;杜鹃;许毅;何晋平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;H01L41/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种激光自动准直系统,包括入射光源,在该入射光源的主光路上依次放置置有第一反射镜的第一带压电陶瓷镜座、置有第二反射镜的第二带压电陶瓷镜座、固定反射镜一片、采样反射镜一片、会聚透镜一片,该系统还包括CCD探头、计算机、反馈控制电路。通过CCD探测光路偏移状况,经计算机数据处理后,驱动并控制带压电陶瓷镜座,使光路回归基准,达到自动操控的目的。本发明方案严格保证空间过两点有且只有一条直线原理的适用性,同时使工程实现更容易、准确。而且,方案中只对一个点采样,即可获得理想的准直光束输出,减小了光能损失和系统误差,同时降低了系统成本。 | ||
搜索关键词: | 激光 自动 系统 | ||
【主权项】:
1、一种激光自动准直系统,包括入射光源(1)、CCD探头(7)、计算机(8)、反馈控制电路(9),其特征在于:在所述的入射光源(1)的主光路上依次放置:有第一反射镜(21)的第一带压电陶瓷镜座(2)、有第二反射镜(31)的第二带压电陶瓷镜座(3)、固定反射镜(4)、采样反射镜(5)、会聚透镜(6);所述的第一带压电陶瓷镜座(2)和第二带压电陶瓷镜座(3)平行放置,未加电压时,由入射光源(1)发出的光线入射到第一带压电陶瓷镜座(2)的第一反射镜(21)和第二带压电陶瓷镜座(3)的第二反射镜(31)的入射角均为45度;所述的固定反射镜(4)和采样反射镜(5)平行放置,由所述的第二带压电陶瓷镜座(3)的第二反射镜(31)反射的光线入射到所述的固定反射镜(4)的入射角为45度,由所述的固定反射镜(4)反射的光线入射到所述的采样反射镜(5)的入射角为45度;所述的会聚透镜(6)垂直于所述的采样反射镜(5)的反射光线且使光束通过该会聚透镜(6)的光心,所述的CCD探头(7)的感光面与所述的会聚透镜(6)的焦平面重合,所述的CCD探头(7)的输出端与所述的计算机(8)的输入端相连,所述的计算机(8)的输出端与所述的反馈控制电路(9)的输入端相连,所述的反馈控制电路(9)的两个输出端分别与所述的第一带压电陶瓷镜座(2)的两个压电陶瓷驱动器相连,该反馈控制电路(9)的另外两个输出端分别与所述的第二带压电陶瓷镜座(3)的两个压电陶瓷驱动器相连,整个光路保持光线在同一水平面内。
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