[发明专利]一种旋转交换的双台系统有效
| 申请号： | 200710041769.8 | 申请日： | 2007-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101071275A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 王天明;袁志扬;严天宏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;B23Q1/25;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋转交换的双台系统。现有技术中的双台系统存在结构复杂、成本过高以及双台交换时存有安全隐患的问题。本发明的旋转交换的双台系统，用于一具有主框架且具有两作业位的电子设备中，其包括设置在主框架上的基台、对应该两作业位且对称设置在该基台上的第一及第二作业台、用于驱动基台沿该基台中心转动的基台驱动装置以及用于控制基台驱动装置驱动基台转动以实现第一作业台与第二作业台换位的控制模块。采用本发明的旋转交换的双台系统可提高电子设备的效率并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 交换 系统 | ||
【主权项】：
1、一种旋转交换的双台系统，用于一具有主框架且具有两作业位的电子设备中，其特征在于，该旋转交换的双台系统包括设置在主框架上的基台、对应该两作业位且对称设置在该基台上的第一及第二作业台、用于驱动基台沿该基台中心转动的基台驱动装置以及用于控制基台驱动装置驱动基台转动以实现第一作业台与第二作业台换位的控制模块。
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