[发明专利]用于制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜的衬底材料无效
申请号: | 200710042633.9 | 申请日: | 2007-06-26 |
公开(公告)号: | CN101333682A | 公开(公告)日: | 2008-12-31 |
发明(设计)人: | 刘军芳 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 吴林松 |
地址: | 20009*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及制备一种低温相偏硼酸钡单晶薄膜用的衬底材料,具体是采用β-BBO微晶玻璃作为制备β-BBO单晶薄膜的衬底材料。本发明采用β-BBO微晶玻璃作为衬底材料,不仅能够实现衬底材料与薄膜材料的完美匹配,有效克服异质外延对薄膜生长带来的不利影响,最终实现高质量β-BBO薄膜材料的制备,而且具有生产效率高、成本低廉的优点,对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。 | ||
搜索关键词: | 用于 制备 低温 硼酸 钡单晶 薄膜 衬底 材料 | ||
【主权项】:
1.低温相偏硼酸钡β-BBO微晶玻璃作为制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜的衬底材料的应用。
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