[发明专利]基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置和方法

摘要

本发明涉及了一种基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置和方法。它由一个数字微镜、一个光源照射系统、二个带CCD摄像机的图像接收系统和两个反射镜(对于透射物体测量)或两个普通分光镜(对于反射物体测量)组成。通过数字微镜在测量系统中起到的反射镜、分光镜、光束调制器多种作用，同时采用相移数字全息技术，可以实现待测物体的高分辨率轮廓测量。本发明结构合理紧凑，操作简便，适合静态或准动态待测物体的高分辨率轮廓测量。

主权项

1.一种基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，由一个数字微镜(1)、一个由激光器(4)、准直透镜(3)和可调光阑(2)构成的光源照射系统、二个带CCD摄像机(7、8)的图像接收系统和两个反射镜(5、9)或两个半透反射镜(11、13)组成，其特征在于从光源照射系统来的光束经数字微镜的光束调制、反射和分光后，经两个反射镜(5、9)的反射或经两个半透半反射镜的分光后，照射待测透明物体(16)或反射物体(12)，其透射光或反射光，直接或再经两个半透半反射镜(11、13)由图像接收系统的二个CCD摄像机(7、8)接收，实现对待测物体的高分辨率轮廓测量。