[发明专利]测量系统的校正装置无效
| 申请号： | 200710044041.0 | 申请日： | 2007-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101349579A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 程蒙 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00;G01B11/00;G01R31/26;H01L21/66;G02B27/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种测量系统的校正装置，该校正装置包括：传感器，用于捕捉测量系统中的干涉光并形成明暗条纹；影像分析模块，对干涉光形成的明暗条纹的偏差方向进行计算；控制模块，根据影像分析模块的计算值对测量系统中的偏差元件进行偏差量的校正。采用本发明的测量系统的校正装置能对测量系统中的参考镜进行校正，避免产生测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 校正 装置 | ||
【主权项】：
1、一种测量系统的校正装置，其特征在于，包括：传感器，用于捕捉测量系统中的干涉光并形成明暗条纹；影像分析模块，对干涉光形成的明暗条纹的偏差方向进行计算；控制模块，根据影像分析模块的计算值对测量系统中的偏差元件进行偏差量的校正。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏力半导体制造有限公司，未经上海宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710044041.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：灯具模块及其透镜结构
- 下一篇：一种可爬台阶的车轮组
