[发明专利]研磨垫整理装置及研磨垫整理方法有效
| 申请号： | 200710044349.5 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101352834A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/00;B24B53/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨垫整理装置，包括支撑臂和修正盘，所述支撑臂上还安装有吸附器，所述吸附器包含磁性收集体，所述修正盘上镶有由不锈钢材料制成的颗粒，且所述磁性收集体与所述颗粒中一个为磁体，另一个为磁体或磁性材料。本发明还公开了一种相应的研磨垫整理方法，利用本发明的研磨垫整理装置或采用本发明的研磨垫整理方法，可以将脱落于研磨垫内的修正盘上的颗粒吸附出来，防止其划伤晶片，提高了生产的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 整理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种研磨垫整理装置，包括支撑臂和修正盘，其特征在于：所述支撑臂上还安装有吸附器，所述吸附器包含磁性收集体，所述修正盘上镶有由不锈钢材料制成的颗粒，且所述磁性收集体与所述颗粒中一个为磁体，另一个为磁体或磁性材料。
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