[发明专利]空气分子污染采样辅助器件及采样方法有效
| 申请号： | 200710045078.5 | 申请日： | 2007-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101373171A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 周金锋;桂柳;丁勇;陈华勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种空气分子污染(AMC)采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样。本发明还提供一种对某种新材料空气分子污染AMC采样方法。采用本发明的技术方案，使得AMC采样装置能在与待测试负压腔同等压力的环境中进行采样，消除了压力差对AMC采样装置带来的影响，提高了采样的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 分子 污染 采样 辅助 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空气分子污染AMC采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，其特征在于，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样。
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