[发明专利]1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅无效

专利信息
申请号: 200710045141.5 申请日: 2007-08-22
公开(公告)号: CN101109831A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: 周常河;冯吉军;王博;茹华一 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B27/28;G02B5/30
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,该光栅的周期为344-412纳米、刻蚀深度为1.076-1.205微米时,偏振分束光栅的消光比大于100,可以实现将两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方向出射。
搜索关键词: 1550 纳米 波长 反射 偏振 光栅
【主权项】:
1.一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,该光栅的TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期为344~412纳米、刻蚀深度为1.076~1.205微米,光栅的占空比为1/2。
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