[发明专利]一种大用量扩充管路输送液体和气体的方法无效
| 申请号： | 200710045482.2 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101377266A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张文武 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种大用量扩充管道输送气体的方法，包括：将送气管道和扩充管道的备用分支小管路用细管连接起来；打开送气管道的分支小管路手动阀和扩充管道的分支小管路的手动阀，使送气管道中的气体通过细管输送到扩充管道中；等送气管道中的压力和扩充管道中的压力一致的时候，再打开扩充阀进行大用量送气。使用这种方法大大降低上游管道中产生的压降，降低上游机台产生停机的风险，也可以减少下游管道中产生的颗粒，提高系统的制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用量 扩充 管路 输送 液体 气体 方法 | ||
【主权项】：
1、一种大用量扩充管路送气方法，其特征在于，该方法包括:步骤一:将送气管道和扩充管道的备用分支管路用细管连接起来；步骤二:打开送气管道和扩充管道的备用分支小管路的手动阀，使送气管道中的气体通过细管输送到扩充管道中；步骤三:等送气管道中的压力和扩充管道中的压力一致的时候，再打开扩充阀。
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