[发明专利]一种基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器无效
申请号: | 200710046546.0 | 申请日: | 2007-09-27 |
公开(公告)号: | CN101131373A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 张宁;郁可;雷玮;王有平;曹福全;朱自强 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程宗德 |
地址: | 20024*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器,属于传感器制造的技术领域。包括:基底、金属电极层、传感导电体和外接电路,其中传感导电体为宏观尺度ZnO单晶材料,通过热蒸发法大规模生产的宏观尺度ZnO单晶材料,该材料由直径为60~800nm的ZnO纳米杆自然生长而成,将其用银浆粘在金属电极层上。本发明的制备方法简单易行,重复性好,原料容易得到,制备成本低廉,非常适于用来制备大量的ZnO气体传感器,有望在工业安全等领域获得重要应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 宏观 尺度 zno 材料 气体 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器包括:基底(1)、金属电极层(2)、传感导电体(3)和外接电路(4),其特征在于金属电极层(2)是通过丝网印刷工艺将银浆在绝缘基底(1)上印出金属电极层(2)图案,然后将金属片或金属丝粘附在银浆上,电极的厚度为1~3mm,电极间距为1mm;传感导电体(3)为宏观尺度ZnO单晶材料,该材料是通过热蒸发法由直径为60~800nm的ZnO纳米杆制备而成并将其用银浆粘在金属电极层(2)上,外接电路(4)的阳极和阴极分别连接在金属电极层(2)阳极和阴极。
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