[发明专利]用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法无效
| 申请号： | 200710047153.1 | 申请日： | 2007-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101149559A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王亚军;杨春生;陈迪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/26;G03F7/039;B81C5/00;A61F2/14;A61F9/007 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，用光刻技术制作凸起的圆柱形光刻胶，并采用热熔回流光刻胶形成球形凸点，在衬底上均匀覆盖一层聚合物，作为器件的底部保护材料，图形化形成金属电极点和导线，再覆盖聚合物作为器件顶部保护材料，图形化露出电极点和焊点，得到最终需要的球形凸起柔性微电极阵列。本发明不仅成本低，工艺过程简单，而且具有较高的刺激效果，可用于视网膜假体等神经细胞刺激的生物微电极阵列的制备上。 | ||
| 搜索关键词： | 用光 刻胶热熔 法制 球形 凸起 生物 微电极 阵列 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，其特征在于：用光刻技术制作凸起的圆柱形光刻胶，并采用热熔回流光刻胶形成球形凸点，在衬底上均匀覆盖一层聚合物，作为器件的底部保护材料，图形化形成金属电极点和导线，再覆盖聚合物作为器件顶部保护材料，图形化露出电极点和焊点，得到最终需要的球形凸起柔性微电极阵列。
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