[发明专利]基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统无效

专利信息
申请号: 200710047678.5 申请日: 2007-11-01
公开(公告)号: CN101144726A 公开(公告)日: 2008-03-19
发明(设计)人: 陈麟;曹庄琪;李红根;沈启舜;吴至境 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01D5/26 分类号: G01D5/26;G01B11/00
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 王锡麟;王桂忠
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种导波光学领域的古斯汉欣位移测量系统,其中:可调谐激光器、偏振器、分束镜、小孔按照顺序固定在调节支架上,并保持等高共轴,光轴指向波导样品的中心,调节支架再固定在光学平板上,波长计固定在光学平板上,并与可调谐激光器保持等高,波导待测样品放在倍角转台上,倍角转台平放在光学平板上,测量探测器固定在倍角转台上,位置灵敏探测器固定在螺旋测微计调节支架上,位置灵敏探测器通过导线与信号放大电路相连,信号放大电路的两路输出和测量探测器同时通过数据线与电气控制箱及计算机相连,波长计通过串口与计算机相连。本发明可以测量光波导结构由于共振增强产生的古斯汉欣位移,具有操作简单、准确可靠、快速测量等特性。
搜索关键词: 基于 波长 扫描 古斯汉欣 位移 测量 系统
【主权项】:
1.一种基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统,包括:可调谐激光器、偏振器、分束镜、小孔、倍角转台、测量探测器、位置灵敏探测器、螺旋测微计调节支架、调节支架、信号放大电路、电气控制箱、波长计、光学平板、计算机,其特征在于:可调谐激光器、偏振器、分束镜、小孔按照顺序固定在调节支架上,并保持等高共轴,光轴指向波导样品的中心,调节支架再固定在光学平板上,波长计固定在光学平板上,并与可调谐激光器保持等高,波导待测样品放在倍角转台上,倍角转台平放在光学平板上,测量探测器、可调谐激光器关于波导待测样品的中心轴对称,测量探测器固定在倍角转台上,位置灵敏探测器焊接在一块面包板上,并固定在螺旋测微计调节支架上,通过倍角转台扫描角度,确定入射角度,然后通过移动螺旋测微计调节支架使反射光斑正好打在位置灵敏探测器的中心,位置灵敏探测器通过导线与信号放大电路相连,信号放大电路的两路输出和测量探测器同时通过数据线与电气控制箱及计算机相连,波长计通过串口与计算机相连。
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