[发明专利]一种分时对准装置和对准方法有效
| 申请号： | 200710047902.0 | 申请日： | 2007-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101158816A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 徐兵;王鹏程;吕晓薇 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种分时对准装置及使用该装置的对准方法，在光学结构设计上同时优化掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统，使掩模标记和曝光对象标记通过光学结构上的不同光学通道进行成像，在时间上通过先后控制掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统光路中的机械快门开启和关闭，从而避免在原先技术中掩模标记和曝光对象标记同时成像在光电探测器靶面的情况。降低曝光装置中光学投影系统的设计难度、制造成本和系统复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分时 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于投影曝光装置中的位置对准装置，其特征在于：所述位置对准装置包括：分时对准装置；掩模标记；曝光对象；和曝光对象标记；所述分时对准装置设置于掩模版上方；所述掩模标记设置于所述掩模版上；所述曝光对象设置于承片台上；所述曝光对象标记设置于所述曝光对象上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710047902.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种辅助开关的转轴
- 下一篇：一种机柜门及通讯机柜
