[发明专利]具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，包括有微波发生器、波导和等离子体谐振腔，微波发生器通过波导与等离子体谐振腔相导通，等离子体谐振腔安设于加热炉内，其不同之处在于在波导内腔通道中安设有隔热板。本发明可有效隔断热辐射沿波导装置进入微波发生器，但不影响微波的传输，避免了微波发生器过热状态的产生，使微波发生器在相对较低的温度下进行工作，从而提高微波发生器及其器件的有效使用寿命。也使得等离子体谐振腔微波系统能够在更大功率的条件下工作更长时间，进一步提高PCVD工艺的加工功效；本发明结构简单，易于实施，也便于对现有设备的改装。

主权项

1.一种具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，包括有微波发生器(1)、波导(2)和等离子体谐振腔(4)，微波发生器通过波导与等离子体谐振腔相导通，等离子体谐振腔安设于加热炉(7)内，其不同之处在于在波导内腔通道中安设有隔热板(8)。