[发明专利]一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺及设备无效
申请号: | 200710055351.2 | 申请日: | 2007-02-14 |
公开(公告)号: | CN101088705A | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | 聂凤明;许乔;崔文波;吴庆堂;王健;王大森;闫晓丽;张广平;胡宝共;李焕东;郭波;张维杰;修冬;田晓欢;刘劲松 | 申请(专利权)人: | 长春设备工艺研究所 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 | 代理人: | 纪尚 |
地址: | 130012*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺及设备,属于光学精密机械技术领域,其抛光工艺是:根据干涉仪等光学表面面形检测仪器测得的面形数据,构成抛光加工过程的模型,在计算机的控制下,按实际加工元件的技术要求确定路径、速度和压力等参数,进行仿真加工,验证选择的工艺参数,当仿真结果与实际要求的抛光表面相一致时确定最终的工艺参数,然后生成NC程序,进行加工;有益效果是:相比同加工阶段的手工加工方法,加工过程减少了对人员经验的依赖,效率提高3倍以上,加工精度达到国际先进水平。 | ||
搜索关键词: | 一种 口径 球面 光学 元件 高效 数控 抛光 工艺 设备 | ||
【主权项】:
1、一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺,其抛光工艺是:根据干涉仪等光学表面面形检测仪器测得的面形数据,通过软件CCOS2进行分析,选择适合的抛光参数,构成抛光加工过程的模型,在计算机的控制下,按实际加工元件的技术要求确定路径、速度和压力等参数,进行仿真加工,验证选择的工艺参数,当仿真结果与实际要求的抛光表面相一致时确定最终的工艺参数,然后生成NC程序,进行加工;通过控制小抛光模在工件表面的驻留时间及压力,精确控制工件表面的去除量,获得要求的面形。
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