[发明专利]一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法无效
| 申请号： | 200710055944.9 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101118290A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 梁静秋;乐孜纯;黄鑫华;梁中翥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B3/14;G21K1/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于光学技术领域，涉及一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法。该组合透镜包括透镜主体及透镜主体上间隔排列的空气腔，所述透镜主体材料为PMMA；其制作方法是首先在起到支撑作用的单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺、金属薄膜和光刻胶等所需层面；然后经过光刻，电铸，去胶，开窗口等步骤，完成光刻透镜主体时所使用的掩膜和光刻空气腔时所使用的掩膜的制备；最后，用制备好的掩膜进行两次X射线光刻，完成变焦距X射线组合透镜的制作。本发明具有聚焦效果好、散射小、X射线辐射透过率高、工艺简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焦距 射线 组合 透镜 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种变焦距X射线组合透镜，包括透镜主体(1)及透镜主体(1)上间隔排列的空气腔(2)，其特征在于所述透镜主体(1)材料采用PMMA。
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