[发明专利]衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵及其制备方法无效
| 申请号： | 200710056186.2 | 申请日： | 2007-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101141051A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 邓鑫李;王立军;刘云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵及其制备方法，属于半导体激光器领域。包括：半导体激光线阵，快轴准直镜，小透镜，半波片，大透镜，衍射光栅列阵。其特征是通过衍射光栅列阵进行外腔反馈，使半导体激光线阵一个或数个发光单元入射到对应的一个衍射光栅单元上，通过调节每个衍射光栅单元，使不同弯曲程度的发光单元经衍射光栅单元后沿原路返回的反馈光中心波长相等或很相近，这样不同弯曲程度的发光单元输出光的中心波长相等或很接近，从而整体光谱线宽减小。本发明的优点是使用数个小面积光栅，成本比较低，便于加工，且光路调节简单，输出功率高。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光栅 列阵 半导体 激光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵，包括半导体激光器线阵(1)，沿半导体激光线阵(1)激光输出方向依次设有快轴准直镜(2)、小透镜(3)、半波片(4)、大透镜(5)、衍射光栅列阵(6)，小透镜(3)与快轴准直镜(2)的距离为小透镜(3)的焦距f1，小透镜(3)和大透镜(5)共焦点放置组成倒置望远系统，大透镜(5)与衍射光栅列阵(6)的距离为大透镜(5)的焦距f2，半波片(4)位于小透镜(3)与大透镜(5)焦点处，其特征是所述的衍射光栅列阵(6)由不同旋转角度衍射光栅单元(7)胶合而成，每个衍射光栅单元7均利特罗结构放置，所述的半导体激光线阵(1)的一个或数个发光单元入射到对应的一个衍射光栅单元(7)上，调节每个衍射光栅单元(7)，使光轴上和离轴发光单元的光束a、b入射到衍射光栅单元(7)的入射角θ、φ相等或很相近
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