[发明专利]刻蚀顶端非掺杂本征层非对称金属膜垂直腔面发射激光器

摘要

本发明涉及一种刻蚀顶端非掺杂本征层非对称金属膜垂直腔面发射激光器和制备方法。它包括布拉格反射镜，高阻层，电极，衬底，量子阱有源区。上表面刻蚀的圆形金属反射膜、金属膜导线以及金属膜与上电极的接触层和上电极；在衬底的下表面有圆形金属反射膜、下表面金属膜导线、下表面电极。本发明引入非掺杂的本征层中刻出电流孔径，结合上表面与衬底表面刻蚀金属膜非对称结构实现电流和光场限制，发挥了金属膜的电极和反射镜功效，简化垂直腔面发射激光器列阵集成化工艺，并且降低了分布布拉格反射镜的对数，限制电流扩散区域，提高注入电流的光电耦合效率，本征高阻层和芯片一次生长完成，避免质子轰击或分别氧化工艺，有利于集成化。

主权项

1.一种刻蚀顶端非掺杂本征层非对称金属膜垂直腔面发射激光器，包括上、下分布的布拉格反射镜，高阻层，势垒层，电极，衬底，量子阱有源区及空间层，其特征在于：上表面有刻蚀的圆形金属反射膜(1)、刻蚀的金属膜导线(2)以及刻蚀的金属膜与上电极的接触层和上电极(3)；上电极的接触层和上电极(3)下方依次为：刻蚀圆孔的非掺杂本征高阻层(4)、p+型接触层(5)，p型布拉格反射镜(6)、量子阱有源区及空间层(7)、n型布拉格反射镜(8)、过渡层及衬底(9)；在衬底(9)的下表面刻蚀的圆形金属反射膜(10)、下表面刻蚀的金属膜导线(11)、下表面电极(12)。