[发明专利]基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法

摘要

本发明公开一种基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法，是由如下过程完成：第一步，应用相移显微干涉法测量被测微/纳悬臂梁的表面弯曲数据；第二步，应用有限差分法解析出被测微/纳悬臂梁的弯曲量；第三步，将第一步得到的表面弯曲数据与第二步得到的弯曲量进行比较，从而求出测量弯曲量与解析弯曲量之间差值最小时的曲率值。本发明采用相移显微干涉法测量悬臂梁表面的弯曲量，具有高精度和高分辨率，对待测器件是非破坏的无损测量，应用有限差分法解析出悬臂梁弯曲量的实现简单，建模更加接近于真实情况，结果准确可靠，可用于微悬臂梁或纳悬臂梁(具有微米宽度和纳米厚度的纳悬臂梁)曲率的测量。

主权项

1.一种基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法，其特征在于，测量过程包括：应用相移显微干涉法测量被测微/纳悬臂梁的表面弯曲数据；应用有限差分法解析出被测微/纳悬臂梁的弯曲量；将前两个过程得到的表面弯曲数据和弯曲量进行比较，从而求出测量弯曲量与解析弯曲量之间差值最小时的曲率值。