[发明专利]六氟化钨气体的制备方法有效
| 申请号： | 200710062166.6 | 申请日： | 2007-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN101070189A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 李本东;杨献奎;王占卫;李绍波;袁晓燕;隋希平;董露荣 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
| 主分类号： | C01G41/04 | 分类号： | C01G41/04 |
| 代理公司： | 邯郸市久天专利事务所 | 代理人： | 郭恒斌 |
| 地址： | 056002*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种六氟化钨气体的制备方法，将氟气(F2)与高纯氮(N2)按1∶0.5～20比例混合通入裂解器中，预热温度为10℃～100℃，压力为0～0.6MPa，时间为1min～20min，后进入反应器，反应器内有5～15Kg原料钨(W)，反应器中氟气与原料钨的反应温度为20℃～400℃，反应时间为1min～20min，所制备的六氟化钨(WF6)气体由低温收集器液化收集，通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器中收集10kg～50kg的WF6气体后，停止收集并升温将WF6气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。六氟化钨气体的纯度可达到99.5％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 气体 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：将氟气与高纯氮按1∶0.5～20重量比混合通入裂解器(9)中，预热温度为10℃～100℃，压力为0～0.6MPa，时间为1min～20min，后进入反应器(10)，反应器(10)内有5～15Kg原料钨，反应器(10)中氟气与原料钨的反应温度为20℃～400℃，反应时间为1min～20min，所制备的六氟化钨气体由低温收集器(11)在-70℃～0℃下液化收集，通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器(11)中收集10kg～50kg的WF6气体后，停止收集并升温到20℃～100℃将WF6 气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。
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