[发明专利]三轴热对流加速度传感器有效
| 申请号： | 200710062556.3 | 申请日： | 2007-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101105502A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 杨拥军;徐淑静;吕树海 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01C21/16;G01K7/24;G01K7/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 张明月 |
| 地址： | 050051河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三轴热对流加速度传感器，它属于微机械传感器领域。它包括内部设置有敏感元件的封闭腔体、加热器、温度传感器，加热器和三个轴向的温度传感器都设置在封闭腔体内，敏感元件为限定在封闭腔体内的气体，加热器位于封闭腔体中心，在X、Y、Z三个轴向上分别设置有等距离对称布置的、特性值相同的温度传感器。它以单一气体作为敏感元件能够感知三个轴向的加速度。本发明的加速度传感器可以应用在许多场合，使用本发明进行加速度检测时，可以感知空间任意方向的加速度、简单方便、体积小、成本低、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 三轴热 对流 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.三轴热对流加速度传感器，包括内部设置有以气体作为敏感元件的封闭腔体、设置在封闭腔体内的有引线与外界连通的加热器、温度传感器，其特征在于：加热器位于封闭腔体中心，在封闭腔体内的X、Y、Z三个轴向上分别设置有特性相同的、等距离对称布置的温度传感器。
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