[发明专利]一种射频匹配器的传感器的鉴相装置和方法有效
| 申请号： | 200710063284.9 | 申请日： | 2007-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN101217104A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张文雯 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明;王连军 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明所述的一种射频匹配器的传感器的鉴相装置和方法，应用于射频匹配器的传感器中，用于通过射频主传输线检测射频负载阻抗的相位，所述的装置包括信号处理采样电路、边沿触发鉴频鉴相器PFD与放大滤波电路。其中，边沿触发鉴频鉴相器PFD对输入信号的要求不是很严格，既不要求两个输入信号的幅度相等又不要求输入为对称的方波，因此系统实现比较容易。虽然系统并不复杂，但是此鉴相方案也能很好的检测负载阻抗的相位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 配器 传感器 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种射频匹配器的传感器的鉴相装置，应用于射频匹配器的传感器中，用于检测射频负载阻抗的相位，其特征在于，包括：信号处理采样电路，用于获取射频传输线上的电压与电流信号，并对所采集的正弦波的电压与电流信号进行处理输出方波信号至边沿触发鉴频鉴相器PFD；边沿触发鉴频鉴相器PFD，根据输入的方波电压与电流信号经过鉴频鉴相处理，输出脉冲控制信号至放大滤波电路；放大滤波电路，对输入的脉冲控制信号进行放大运算处理，并通过低通滤波器输出平均电压控制信号。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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