[发明专利]减薄抛光用的精密磨抛头机械装置无效
| 申请号： | 200710064694.5 | 申请日： | 2007-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101269478A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘素平;马骁宇;王俊;李伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种减薄抛光用的精密磨抛头机械装置，其特征在于，包括：一外套，该外套包括：一上层环体；一下层环体，该上层环体和下层环体之间由多个连接杆固定连接；一中层，该中层为圆形片体，该中层位于上层环体的下方、固定在多个连接杆的内侧，该中层中间的位置安装有一限位器；一内套，该内套包括：一上连接件，该上连接件为一圆盘型；一底座，该底座为一圆盘型，该底座的中心处开有一孔，该底座和上连接件之间由多个连接柱固定连接；该内套位于外套的内部，并与外套联动；一载物片，该载物片为一片体，该载物片位于内套中的底座的下方，并与内套中的底座联动。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 精密 磨抛头 机械 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种减薄抛光用的精密磨抛头机械装置，其特征在于，包括：一外套，该外套包括：一上层环体；一下层环体，该上层环体和下层环体之间由多个连接杆固定连接；一中层，该中层为圆形片体，该中层位于上层环体的下方、固定在多个连接杆的内侧，该中层中间的位置安装有一限位器；一内套，该内套包括：一上连接件，该上连接件为一圆盘型；一底座，该底座为一圆盘型，该底座的中心处开有一孔，该底座和上连接件之间由多个连接柱固定连接；该内套位于外套的内部，并与外套联动；一载物片，该载物片为一片体，该载物片位于内套中的底座的下方，并与内套中的底座联动。
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